在半导体制造领域中,金属铬(Cr)的作用不可或缺。从光刻过程中的掩膜制造到薄膜沉积技术,铬的应用贯穿了芯片的整个制造流程。Cr有哪些应用?有哪些优秀的性质呢?
硅,我们都知道。但是芯片制程中的硅,有的用的是单晶硅,有的用的是多晶硅。多晶硅与单晶硅的性能差别很大,那么他们各有哪些优良性质?有哪些应用?又是怎样制造出来的呢?
铜CVD,更具体点说,是利用MoCVD的方法来制取铜薄膜。大多数的人对于铜CVD相对陌生,因为CVD常用来制取介质薄膜,而金属薄膜用PVD制取较常见。那么既然PVD可以制取Cu薄膜,那为什么还
在芯片制造中,镀膜工序(PVD,CVD)是必不可少的关键环节,薄膜的质量直接影响了芯片的性能。对这些薄膜的精细控制又离不开对其折射率的深入理解和精确测量。今天将对芯片制造中
芯片的材料主要是有三种:半导体材料,介质材料,金属材料。 这期,我们主要介绍芯片制程常见的金属材料及其特性。
在芯片制程中,介质层起到了非常重要的作用。它不仅在芯片中提供了必要的电气隔离,还在多层互连结构中实现了信号的高效传输。
PVD中包含了蒸发,溅射这两个大类。蒸法和溅射在原理,作用上有很大区别。但是当我们面对复杂的台阶结构时,比如凹槽,凸起等,对PVD机台的台阶覆盖能力的考量就很重要且必要。
2023年9月23日,杭州第19届亚运会的盛大开幕。9月8日至9月20日,亚运会火炬在浙江省内11个地级市依次传递。火炬高730毫米,净重1200克,设计思想源自中华五千年文明史的良渚文化,名
PVD涂层是一种环保的真空涂层工艺。由于其出色的耐磨和耐腐蚀性能,PVD常用于赋予零部件更好的性能和绚丽的装饰效果。PVD涂层过程在工业、非工业和化妆品应用中很常见。在现代制
除了TiW薄膜,还有一种薄膜以其良好的导电性、化学稳定性和作为扩散阻挡层而著称,它就是TiN(氮化钛)。那么TiN薄膜有哪些优秀品质?在半导体制造中又有哪些应用?TiW薄膜又是如何被