性质
钛（Ti）
氮化钛（TiN）
密度
4.51 g/cm³
5.22 g/cm³
熔点
1668°C
2950°C
维氏硬度
70-80 HV
1800-2100 HV
莫氏硬度
6
9
电阻率
42-60 µΩ·cm
25-30 µΩ·cm
导电性
较好
较好
热膨胀系数
8.6 µm/m·K
9.35 µm/m·K
颜色
银灰色
金黄色
耐腐蚀性
较好
优秀
高纯稀有金属材料
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钛（Ti）与氮化钛（TiN）为什么要结合使用？
2024-06-28 10:30
Ti与TiN的性质对比
从上表上可以得出几个结论：
1，氮化钛非常硬
2，氮化钛熔点很高
3，钛与氮化钛的热膨胀系数差不多
Ti与TiN各有什么用途？
Ti（钛）
1.钛常用作粘附层，用于改善材料与基底的粘附性。
2.作为阻挡层，钛可防止铜等金属在高温下的扩散。
TiN（氮化钛）
1.阻挡层
2.TiN常用于工具的硬质涂层，提高耐磨性和使用寿命。
为什么要同时使用？
需要从粘附性和应力两方面考虑。
TiN与一些底层材料之间的粘附性不如Ti好，会导致钨层的附着力不足。
Ti薄膜可以作为缓冲层，直接沉积TiN和W会在界面处产生较大的应力，而Ti的加入则可以减少应力的影响。
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