硫化锌(ZnS)薄膜淀积于室温基底上时，其膜层牢固性往往很差;提高基底温度或实施离子轰击可改善膜层牢固度。在可见区，其常与低折射率的氟化物相组合，在红外区则常与高折射率的半导体材料相组合，以构成可见和红外区的各种滤光片。在真空紫外区具有高的反射率值，在真空紫外区也是很有用的涂层。但其受到强烈的紫外光照射时，其反射率会下降到很低的值。除此之外，ZnS还可以用来作为红外区的窗口元件。
硫化锌(ZnS)具有良好的应力和良好的环境耐久性, ZnS在高温蒸着时极易升华,这样在需要的膜层附着之前它先在基板上形成一无吸附性膜层,因此需要彻底清炉,并且在最高温度下烘干,花数小时才能把锌的不良效果消除.HASS等人称紫外线(UV)对ZnS有较大的影响,由于紫外线在大气中导致15—20nm厚的硫化锌膜层完全转变成氧化锌(ZnO)。
