溅射靶材工艺流程：

原料粉末 → 粉末冶炼 → 粉末混合 → 压制成型 → 气氛烧结 → 塑性加工 → 热处理→ 超声探伤 → 水切割 → 机械加工  → 金属化 → 绑定 → 超声测试 → 超声清洗 → 终检 → 包装出库

 

成分质量控制

原料成分分析：

通过ICP、GDMS等设备检测分析，金属杂质含量，确保纯度达标；

通过碳硫分析仪，氮氧分析仪等设备对非金属杂质含量进行检测。

 

金相探伤分析：

通过探伤设备检测产出靶材，确保产品内部无缺陷、缩孔；

通过金相测试，检测靶材内部晶粒程度，确保晶粒细密。

 

外观尺寸检测：

通过千分尺、精密卡尺，测量产品尺寸，确保符合客户图纸要求；

通过表面清洁度测量仪，测量产品表面光洁度和清洁度。

【用途二】
导热性好，热膨胀系数小，是良好的耐热冲击材料。抗熔融金属腐蚀的能力强，是熔铸纯铁、铝和铝合金理想的坩埚材料。应用如下：1、 导热硅胶和导热环氧树脂 超高导热纳米复合硅胶具有良好的导热性， 良好的电绝缘性， 较宽的电绝缘性和使用温度（工作温度-60℃ --200℃）， 较低的稠度和良好的施工性能。产品已达或超过进口产品， 因为可取代同类进口产品而广泛应用于电子器件的热传递介质，提高工作效率。如CPU与散热器填隙、大功率三极管、可控硅元件、二极管、与基材接触的细缝处的热传递介质。纳米导热膏是填充IC或三极管与散热片之间的空隙，增大它们之间的接触面积，达到更好的散热效果。2、纳米无机陶瓷车用润滑油及抗磨剂 纳米陶瓷机油中的纳米氮化铝陶瓷粒子随润滑油作用于发动机内部的摩擦副金属表面，在高温和极压的作用下被激活，并牢固渗嵌到金属表面凹痕和微孔中，修复受损表面，形成纳米陶瓷保护膜。因为这层膜的隔离作用，使机件间相对运动产生的摩擦只是作用于这层保护膜，纳米陶瓷粒子像小滚珠一样将摩擦副间的部分摩擦由传统的滑动摩擦转变为滚动摩擦，从而极大的降低摩擦力，将运动机件间的磨擦降至近乎零对发动机起到超强的抗磨保护作用，通过改善润滑，可降低摩擦系数70%以上提高抗磨能力300% 以上降低磨损80%以上可延长机械零件寿命3倍以上，减少停工，降低维修成本，延长大修期一倍以上，节能5～30%提高设备输出功率15～40%，其添加量仅仅为万分之二。3、高导热塑料中的应用 纳米氮化铝粉体可以大幅度提高塑料的导热率。通过实验产品以1%的比例添加到塑料中，可以使塑料的导热铝从原来的0.3提高到5。导热率提高了16倍多。目前相关应用厂家已经大规模采购纳米氮化铝粉体，新型的纳米导热塑料将投放市场。4、其他应用领域：纳米氮化铝应用于熔炼有色金属和半导体材料砷化镓的坩埚、蒸发舟、热电偶的保护管、高温绝缘件、微波介电材料、耐高温及耐腐蚀结构陶瓷及透明氮化铝微波陶瓷制品。