铟锡氧化物(ITO)和In3O5SnO2有相对良好的导电性能和可见光穿性。这样的薄膜在数据显示屏和抗热防霜装置等方面已有很大原需求。在建筑上可用作择光窗和可控穿透窗
溅射靶材工艺流程： 原料粉末 粉末冶炼 粉末混合 压制成型 气氛烧结 塑性加工 热处理 超声探伤 水切割 机械加工 金属化 绑定 超声测试 超声清洗 终检 包装出库 成分质量控制 原料成
制备方法 当加热到高温时铪与氧直接化合生成氧化铪。也可通过其硫酸盐或草酸盐经灼烧而得。
氧化镍，是一种无机化合物，化学式为NiO，不溶于水，2017年10月27日，世界卫生组织国际癌症研究机构公布的致癌物清单初步整理参考，镍化合物在1类致癌物清单中。
五氧化二钽镀膜材料是最常用的高折射率镀膜材料之一，能在玻璃和塑料基材上形成稳定的薄膜，能从紫外到中红外的广泛光谱范围内具有低吸收。 通常五氧化二钽在沉积过程中应充氧
三氧化钨是一种无机物，化学式为WO3，黄色。不溶于水，溶于碱，微溶于酸。用于制高熔点合金和硬质合金，制钨丝和防火材料等。可由钨矿与纯碱共熔后加酸而得。
制备AZO薄膜的方法有很多种，主要有磁控溅射法、金属有机物化学气相沉积法、脉冲激光沉积法、喷雾热分解法、分子束外延法及溶胶一凝胶法等。其中，磁控溅射法制AZO薄膜具有较高
IGZO（Indium Gallium Zinc Oxide）为铟镓锌氧化物的缩写，非晶IGZO材料是用于新一代薄膜晶体管技术中的沟道层材料是金属氧化物（Oxide）面板技术的一种。
锆钛酸铅 压电陶瓷是一种能够实现机械能与电能之间转换的新型功能材料，与压电晶体相比，具有易制成复杂形状、成本低、机电耦合系数大、压电性能可调节性好以及优越的光、电、
导电玻璃为掺杂氟的SnO2导电玻璃(SnO2:F)，简称为FTO。在光学应用方面，要求其对可见光有好的透射性和对红外有良好的反射性。对其基本要求是：①表面方阻低，②透光率高，③面积大
氧化锆（ZrO2）由于ZrO2单晶需掺入钇（Y）以稳定其结构， 一般实际使用的是YSZ单晶――加入钇稳定剂的氧化锆单晶。它机械、化学稳定性好，价格较低因而得以广泛应用。
氧化锡锑(ATO)是一种透明导电氧化物，是近年来发展迅速的一种新型功能材料，广泛应用于制作液晶显示器、太阳能电池材料、电镜发光器件和电极材料等。随着国家建筑节能工作的不
