溅射靶材工艺流程： 原料粉末 粉末冶炼 粉末混合 压制成型 气氛烧结 塑性加工 热处理 超声探伤 水切割 机械加工 金属化 绑定 超声测试 超声清洗 终检 包装出库 成分质量控制 原料成
原子序数：68 原子量：167.26 amu 熔点：1522.0 ℃ 沸点：2510.0 ℃ 密度：8.795 g/cm3 外观：块状或丝状浅灰色金属。
原子序数：64 原子量：157.25 amu 熔点：1311.0 ℃ 沸点：3233.0 ℃ 密度：7.895 g/cm3 外观：块状或丝状银色金属。
原子序数：21 原子量：44.956 amu 熔点：1539.0 ℃ 沸点：2832.0 ℃ 密度：2.989 g/cm3 外观：块状或丝状银白色金属。
钇是一种灰黑色金属，化学符号Y，它是第一个被发现的稀土金属元素，有延展性。
纯度高的铥金属具有明亮以及银色的光泽。在空气中相当稳定，但应避免潮湿。此金属质地柔软，莫氏硬度2-3，具可塑性和韧性。铥在低于32K具有铁磁性，在32K和56K之间为反铁磁性，在
溅射靶材工艺流程： 原料粉末 粉末冶炼 粉末混合 压制成型 气氛烧结 塑性加工 热处理 超声探伤 水切割 机械加工 金属化 绑定 超声测试 超声清洗 终检 包装出库 成分质量控制 原料成
原子序数：66 原子量：162.5 amu 熔点：1412.0 ℃ 沸点：2562.0 ℃ 密度：8.536 g/cm3 外观：块状或丝状银白色金属。
原子序数：67 原子量：164.930 amu 熔点：1470.0 ℃ 沸点：2720.0 ℃ 密度：8.54 g/cm3 外观：块状或丝状银色金属。
原子序数：71 原子量：174.967 amu 熔点：1656.0 ℃ 沸点：3315.0 ℃ 密度：9.85 g/cm3 外观：块状或丝状银白色金属。
原子序数：59 原子量：140.908 amu 熔点：935 ℃ 沸点：3127.0 ℃ 密度：6.77 g/cm3 外观：块状或丝状银灰色金属。
原子序数：62 原子量：150.36 amu 熔点：1072.0 ℃ 沸点：1900.0 ℃ 密度：7.54 g/cm3 外观：块状或丝状银色金属。
