溅射靶材工艺流程： 原料粉末 粉末冶炼 粉末混合 压制成型 气氛烧结 塑性加工 热处理 超声探伤 水切割 机械加工 金属化 绑定 超声测试 超声清洗 终检 包装出库 成分质量控制 原料成
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原子序数：68 原子量：167.26 amu 熔点：1522.0 ℃ 沸点：2510.0 ℃ 密度：8.795 g/cm3 外观：块状或丝状浅灰色金属。
原子序数：64 原子量：157.25 amu 熔点：1311.0 ℃ 沸点：3233.0 ℃ 密度：7.895 g/cm3 外观：块状或丝状银色金属。
原子序数：21 原子量：44.956 amu 熔点：1539.0 ℃ 沸点：2832.0 ℃ 密度：2.989 g/cm3 外观：块状或丝状银白色金属。
钇是一种灰黑色金属，化学符号Y，它是第一个被发现的稀土金属元素，有延展性。
