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高纯 氧化铝Al2O3 靶材 Al2O3-target 尺寸规格可定制
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18915733682
产品介绍
产品概述
技术参数
产品应用
普遍用于中间材料,该材料有很好的堆积密度并且在200—7000NM区域的透明带,该制程是否需要加氧气以试验分析来确定,提高基板温度可提高其折射率,在镀膜程式不可理更改情况下,以调整蒸发速率和真空度来提高其折射率.非结晶状材料杂气排放量高,结晶状材料相对较少. 折射率受蒸着真空度和蒸发速率影响较大,真空不好即速率低则膜折射率变低;真空度好蒸发速率较快时,膜折射率相对增大,接近1.62 AL2O3蒸发时会产生少量的AL分子造成膜吸收现象,加入适当的O2时,可避免其吸收产生.但是加氧气要注意不要影响到它的蒸发速率否则改变了它的折射率。
材料名称
三氧化二铝
分子式
Al2O3
CAS号
1344-28-1
分子量
101.961
密度
3.97 g/mL at 25℃(lit.)
沸点
2980℃
熔点
2050℃
闪点
2980℃
光学领域、增透膜、眼镜膜等
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