溅射靶材的要求较传统材料行业高，一般要求如，尺寸、平整度、纯度、各项杂质含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸与缺陷控制；较高要求或特殊要求包含：表面粗糙度、电阻值、晶粒尺寸
外文名：Lanthanum 元素符号：La 原子量：138.9055 族群：镧系 原子序数：57 熔点：921C 沸点：3457C 密度：6.174 克/厘米
外文名称：Cerium 元素符号：Ce 原子量：140.116 发现人：贝采利乌斯 熔 点：1071 K（798 C）℃ 沸 点：3699 K （3426 C）℃
外文名称：praseodymium 外观：银白色、黄绿光泽 族群：镧系 元素符号：Pr周期：6 熔点：1204 K(931 C)℃ 原子量：140.90765 原子序数：59 沸点：3793 K(3520 C)℃
外文名称：neodymium 元素符号：Nd 危险性符号：Xi:刺激性物品 CAS号 ：7440-00-8 熔点 ：1024℃ 原子量：144.242 原子序数：60 元素类型：金属元素
英文名称:Samarium 分子式:Sm 分子量:150.36 钐原子序数：62 原子量：150.36
英文名：Europium 化学式:Eu 熔点:822C 外观：银白色金属 分子量：151.964 原子序数：63 沸点：1597C
外文名称：Gadolinium 化学式：Gd 分子量：157.25 密 度：7901kg/m 外 观：银白色稀土金属 熔 点：1311.0 ℃ 沸 点：3233.0 ℃
英文名：Terbium 化学式：Tb 熔点：1356 C 外观：无色结晶的粉末 分子量：158.9254 沸点：3230 C 密度：8219kg/m
外文名称：Dysprosium 性状：白色六方紧密堆积晶格金属 溶解性：溶于酸 分子量：162.500 化学式：Dy 熔 点：1409℃ 沸 点：2562℃
用作金属卤素灯添加剂，金属卤素灯是一种气体放电灯，它是在高压汞灯基础上发展起来的，其特点是在灯泡里充有各种不同的稀土卤化物。目前主要使用的是稀土碘化物，在气体放电时发出不
外文名：erbium 元素符号：Er 原子量：167.26 元素类型：金属元素 原子序数：68 熔点：1529C 沸点：2863C 密度：9.006克/厘米
