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氮化硼靶材BN
氮化硼具有抗化学侵蚀性质，不被无机酸和水侵蚀。在热浓碱中硼氮键被断开。1200℃以上开始在空气中氧化。真空时约2700℃开始分解。微溶于热酸，不溶于冷水，相对密度2.29。压缩强
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氮化钛靶TiN
溅射靶材工艺流程：原料粉末粉末冶炼粉末混合压制成型气氛烧结塑性加工热处理超声探伤水切割机械加工金属化绑定超声测试超声清洗终检包装出库成分质量控制原料成
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碲化铋靶材Bi2Te3
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氟化钙靶材CaF2
CaF2是Heavens提出来的，它可以在10-4以上的压力下蒸发获得一个约为1.23---1.28的折射率。可是他说最终的膜层不那么令人满意，在室温下蒸着氟化钙其堆积密度大约为0.57这与Ennos给出的疏
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磷酸锂靶材Li3PO4
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硫化锌靶ZnS
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硒化锗GeSe2
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氧化钙颗粒CaO
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氧化铬靶Cr2O3
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氧化镉靶材CdO
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高纯铋Bi 靶材
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高纯钒V 靶材
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